علتیابی ریشهای یافتن خطاهای فرایند و علل آنها است. علاوه بر این، ساختار علتیابی ریشهای شناسایی شده مورد تجزیه و تحلیل قرار میگیرد. مشکلات فرایند میتواند توسط عوامل تأثیرگذاری مانند گلوگاهها ایجاد شود. در فرایندکاوی، تحلیل علت میتواند به صورت خودکار انجام شود و بنابراین میتوان در وقت صرفه جویی کرد.