فرایند مرجع فرایندی است که نشان دهنده یک حالت ایده آل مطلوب است. بنابراین فرایند نشان می‌دهد که روند باید چگونه اجرا شود. با این حال، این “توالی هدف” می‌تواند از روند واقعی منحرف شود. بنابراین در فرایندکاوی، فرایند واقعی اغلب با فرایند مرجع مقایسه می‌شود. این مقایسه فرایند هدف و واقعی را انطباق‌سنجی فرایند نیز می‌نامند.